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晶圆贴膜撕膜机

晶圆减薄机

晶圆抛光机

减薄用砂轮

CMP抛光液

BG胶带撕膜机

HR3000III

BG胶带撕膜机(HR3000III)

产品特点

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适用于翘曲晶圆/薄晶圆

DSC &特殊机械臂(可选)

压力板

大直径定位校准台

适用于强粘BG胶带

紫外线照射(可选)

胶带剥离触发器

性能参数

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