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冈本OKAMOTO 晶圆减薄机

GNX300B

GNX300B拥有BG研磨专利技术。1996年冈本凭DOWN FEED GRINDING技术得到日本机械学会颁奖,主轴机械精度可调,冈本自产铸金一体化结构,不易老化,精度持久,润滑系统有完善防护,避免异物进入造成磨损,适用晶圆尺寸:6”、8”、12”     最大晶圆厚度: 1000μm,可切换全自动、半自动操作模式,17 寸触控操作与监控屏,监控气压、电流、水流、厚度等,研磨耗材损耗小,加工成本低廉,研磨硅屑细小,冲洗更干净

产品特点

GNX300B拥有BG研磨专利技术。1996年冈本凭DOWN FEED GRINDING技术得到日本机械学会颁奖,主轴机械精度可调,冈本自产铸金一体化结构,不易老化,精度持久,润滑系统有完善防护,避免异物进入造成磨损,适用晶圆尺寸:6”、8”、12”     最大晶圆厚度: 1000μm,可切换全自动、半自动操作模式,17 寸触控操作与监控屏,监控气压、电流、水流、厚度等,研磨耗材损耗小,加工成本低廉,研磨硅屑细小,冲洗更干净

性能参数
项目参数
规格GNX300B
最大加工直径Ф300㎜
主轴转速范围0~3000rpm
主轴驱动电机功率5.5kW
研磨轮尺寸Ф300㎜
设备重量5700kg