PNX332Bは、酸化層や金属膜だけでなく、ウエハ表面の損傷層も除去できる全自動ポリッシャー設備。同時に6枚のウエハを研磨することができる、8つの研磨ヘッドと3つの研磨台を搭載し、それぞれの研磨台に研磨液を供給する、3つの研磨バケツを搭載している。各研磨台はお客様のニーズに応じて粗投げや精密投げができる。12インチSi基板ポリッシングの世界シェアは80%以上となっており、今後は8インチSiC基板の全自動ポリッシングにも貢献していくこと。