冈本OKAMOTO全自动晶圆背面减薄机GNX200B 设备特点

1.研削加工技术：日本机械学会授予冈本标准传送方式及向下研磨方法技术奖。

2.机械精度的调整方法：通过主轴进行调整，因为可进行原点定位，所以精度调整相当高；可2处调节。

3.标准驱动方式：齿轴+定位销进行定位，长年使用也不会发生位移。

4. 标准润滑方式：润滑油及防护罩，防止进入异物造成磨损。

5.设备刚性：高刚性，不会因老化造成精度变化，部件由冈本自产铸金一体化生产。

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冈本OKAMOTO全自动晶圆背面减薄机GNX200B 设备参数